碳化硅加热管检测
碳化硅加热管检测摘要：检测项目1.电阻率测试：测量20℃-1600℃温度区间电阻值变化率（0.5%精度）2.热膨胀系数测定：记录800℃-1500℃范围内线膨胀系数（α=4.510⁻⁶/℃0.2）3.抗弯强度测试：三点弯曲法测定常温至1400℃下强度值（≥180MPa）4.表面粗糙度分析：Ra≤1.6μm的微观形貌表征5.气密性验证：氦质谱检漏法（漏率≤110⁻⁹Pam/s）检测范围1.棒状直型碳化硅加热管（Φ20-150mm）2.U型/螺旋型异形加热管3.表面渗硅处理改性加热管4.高温炉用多段拼接式加热管5.半导体行业用高纯
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.电阻率测试：测量20℃-1600℃温度区间电阻值变化率（0.5%精度）
2.热膨胀系数测定：记录800℃-1500℃范围内线膨胀系数（α=4.510⁻⁶/℃0.2）
3.抗弯强度测试：三点弯曲法测定常温至1400℃下强度值（≥180MPa）
4.表面粗糙度分析：Ra≤1.6μm的微观形貌表征
5.气密性验证：氦质谱检漏法（漏率≤110⁻⁹Pam/s）
检测范围
1.棒状直型碳化硅加热管（Φ20-150mm）
2.U型/螺旋型异形加热管
3.表面渗硅处理改性加热管
4.高温炉用多段拼接式加热管
5.半导体行业用高纯碳化硅加热管（纯度≥99.9995%）
检测方法
1.ASTMF1525-2017《半导体材料电阻率测试规范》
2.ISO17562:2016《精细陶瓷热膨胀系数测定》
3.GB/T16535-2008《精细陶瓷室温弯曲强度试验方法》
4.ISO4287:1997《表面粗糙度轮廓法术语定义》
5.GB/T15823-2009《无损检测氦泄漏检测方法》
检测设备
1.Agilent34420A高温电阻测试仪（-200℃~1700℃）
2.NetzschDIL402C热膨胀系数测定仪（RT~1600℃）
3.Instron8862电子万能试验机（100kN载荷）
4.TaylorHobsonFormTalysurfPGI三维轮廓仪
5.LeyboldPhoenixL300i氦质谱检漏仪
6.RigakuSmartLabX射线衍射仪（晶体结构分析）
7.FEIQuantaFEG650扫描电镜（微观形貌观测）
8.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪（TG-DSC联用）
9.KeysightE4990A阻抗分析仪（高频电性能测试）
10.ShimadzuAIM-9000红外热像仪（温度场分布监测）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
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